氦質(zhì)譜檢漏儀（Helium Mass SpectrometerLeakDetector）為氣體工業(yè)名詞術(shù)語，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數(shù)小，因而易通過漏孔并易擴(kuò)散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設(shè)備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀（調(diào)整到僅對(duì)氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài)）的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應(yīng)，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。氦質(zhì)譜檢漏儀主要由分子泵、質(zhì)譜室、質(zhì)量分析器、離子檢測器等組成。其核心部件包括離子源、質(zhì)量分析器和離子檢測器。
氦質(zhì)譜檢漏儀廣泛應(yīng)用于工業(yè)生產(chǎn)、科研實(shí)驗(yàn)、航空航天等領(lǐng)域。具體應(yīng)用包括：
電廠：用于冷凝器、熱交換器、蒸汽發(fā)生器、管道等設(shè)備的密封性檢測。
科研：實(shí)驗(yàn)裝置、微電子、表面分析系統(tǒng)、空間模擬系統(tǒng)等設(shè)備的密封性檢測。
工業(yè)：超高真空工程、壓力容器、鍍膜系統(tǒng)、真空爐等設(shè)備的密封性檢測。
汽車制冷：蒸發(fā)器、管道、空調(diào)等設(shè)備的密封性檢測。
航空航天：航天器、管道、空間模擬器等設(shè)備的密封性檢測。
半導(dǎo)體及電子：氣路、氣路傳輸設(shè)備、電子元器件、封裝、工藝設(shè)備等設(shè)備的密封性檢測
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